微處理器驅(qū)動的數(shù)字流量控制器允許對通過RS485接口（可選RS232）通過計算機處理各種氣體。控制器可以是針對各種控制功能進行編程，包括流量設(shè)定值、累加器、停止累加器、讀取 累加器、預設(shè)流累加器、預設(shè)總計停止、自動歸零等。

工作原理

計量氣體分為兩條層流路徑，一條通過主流管道，另一條通過其他通過毛細管傳感器管。兩種流動管道都旨在確保層流和，因此，它們的流速之比是恒定的。兩個精密溫度感應(yīng)繞組傳感器管被加熱，當流動發(fā)生時，氣體將熱量從上游帶到下游繞組。由此產(chǎn)生的溫差與傳感器繞組的電阻。惠斯通電橋設(shè)計用于監(jiān)測溫度傳感器繞組上的相關(guān)電阻梯度與瞬時成線性比例流速。惠斯通電橋的輸出通過12位ADC轉(zhuǎn)換為數(shù)字格式（模數(shù)轉(zhuǎn)換器）。板載微處理器和非易失性存儲器存儲所有校準因素并直接控制比例電磁閥。數(shù)字閉環(huán)控制系統(tǒng)連續(xù)將質(zhì)量流量輸出與所選流量進行比較。與通過補償閥門調(diào)整來校正設(shè)定值，PID算法從而保持具有高精度的所需流量參數(shù)。0至5Vdc或4至20mA的輸出信號生成指示計量氣體的基于質(zhì)量分子的流速。

接口

數(shù)字接口通過RS485（可選RS232）運行，并提供對適用內(nèi)部的訪問數(shù)據(jù)包括流量設(shè)定值、實際流量、零點調(diào)整和線性化表調(diào)整。這模擬接口提供0至5Vdc、0至10Vdc和4至20mA輸入和輸出。

自動歸零

當流量設(shè)定值低于滿時的 2% 時，F(xiàn)MA6500會自動將傳感器零點偏移清零規(guī)模。為了適應(yīng)此功能，控制閥必須在該條件下完全關(guān)閉。規(guī)定用于通過數(shù)字命令禁用、強制或存儲當前的自動歸零。

累加器

FMA6500的固件提供記錄總氣體量的功能。氣體的總質(zhì)量為通過對實際氣體流量相對于時間進行積分來計算。數(shù)字接口命令是提供給：將累加器設(shè)置為零;啟動/停止累計流;閱讀累加器;啟動預設(shè)流量的累加器以預設(shè)的總流量停止流量。

多氣體校準

FMA6500能夠存儲多達10種氣體的主要校準數(shù)據(jù)。此功能允許針對多種氣體校準相同的FMA6500ST，同時保持每種氣體的額定精度。

換算系數(shù)FMA6500中存儲多達256種氣體的換算系數(shù)。可應(yīng)用換算系數(shù)通過數(shù)字接口命令進行十種氣體校準中的任何一種。

流量報警

高低氣體流量報警限值使用數(shù)字接口進行編程。報警條件為 通過數(shù)字接口報告，或激活觸點閉合輸出。

可編程流量

OMEGA軟件支持可編程流量模式，允許執(zhí)行高達自定義編程十步。各種流量配置包括斜坡、線性遞增和遞減模式。

自動調(diào)諧

AUTOTUNE 功能允許FMA6500自動優(yōu)化氣體的控制響應(yīng)實際工藝條件。在自動調(diào)諧過程中，儀器調(diào)整PID增益以獲得良好階躍響應(yīng)并確定關(guān)鍵控制閥特性（僅適用于小于zui大流量為80升/分鐘）。

觸點閉合

提供兩組干接點繼電器輸出，以驅(qū)動用戶提供的設(shè)備。這些是通過數(shù)字接口進行編程，使繼電器可以在指定的發(fā)生事件（例如，當超過低流量或高流量報警限值時，或者當累加器達到指定值）。

提供閥門超控裝置

通過模擬強制控制閥完全打開（吹掃）或完全關(guān)閉或數(shù)字接口。

自我診斷

每當初次通電時，F(xiàn)MA6500都會運行一系列自我診斷測試，以確保 處于zui佳工作狀態(tài)。

工程單位

流量設(shè)定值、測量氣體流量和相關(guān)累加器數(shù)據(jù)在工程中直接縮放 通過數(shù)字接口命令的單位。支持以下測量單位：滿量程百分比、毫升/分鐘、 毫升/小時、立方英尺/小時、立方英尺、立分升/分鐘、立分/小時、磅/小時、磅/分鐘和一個用戶定義的測量單位。

泄漏完整性

1 x 10-9 smL/秒的氦氣zui大值到外部環(huán)境。

平衡電源

FMA6500工作在±15 Vdc。電流對正負電源的要求電源經(jīng)過平衡，使電源公共連接中的電流zui小化。±15 Vdc時的zui大功耗為13.5瓦。FMA6500系列傳感器不應(yīng)用于監(jiān)測氧氣，除非專門為此類應(yīng)用進行清潔和準備。

請參閱下面的訂購說明。

規(guī)格

精度（包括線性度）：

 15至25℃（59至77℉）和 0.7至4 bar（10至60 psia）：滿量程的 ±1%，

 0至50℃（32至122℉）和 0.3至10 bar（5至150 psia）：在特定溫度和壓力下，F(xiàn)S 的 ±2%，F(xiàn)S 的 ±1%，并進行特殊校準

重復性：±0.15% 滿量程

量程比：50：1

響應(yīng)時間：0.6至1.0 秒，在設(shè)定值的 ±2% 以內(nèi)，滿量程為 20%至100% 滿量程的 0.05%/℃ 或更高

壓力系數(shù)：0.01% 滿量程/平方英寸 （0.07巴） 或更高

泄漏完整性：1x 10-9 smL/秒 氦氣對外部環(huán)境的zui大影響

zui佳氣體壓力：1.73巴（25 磅/平方英寸）

zui大氣體壓力：34.5巴（500 磅/平方英寸）

zui大壓差：3.4巴（50 psig），zui高 10 LPM，2.8巴（40 psig），15 LPM 及更高氣體和環(huán)境溫度：5至50℃（41至122℉）

輸出信號：線性 0至5 Vdc（2000 Ω zui小負載阻抗）;0至10 Vdc（4000 Ω zui小阻抗）;4至20 mA 可選（0至500 Ω環(huán)路電阻）

通訊接口：RS485，標配;RS232，可選

傳感器輸入功率：±15 Vdc，zui大450 mA

接液部件：316不銹鋼，416不銹鋼，氟橡膠O形圈;氯丁橡膠或全氟橡膠O型圈可選

連接：標準1/4“壓縮接頭，zui多30個LPM型號;適用于 60 LPM 及更高型號：3/8“ 壓縮接頭

電路保護：電路板具有內(nèi)置極性反轉(zhuǎn)保護;可復位保險絲提供電源輸入保護

校準選項：標準 10 點 NIST 校準可選，zui多可訂購 9 個額外的 10 點校準，但需額外付費

訂貨信息：

型號	zui大流速**	壓合接頭	zui大壓力(psid)
FMA6502ST	10SCCM	1??"	1.06
FMA6504ST	20SCCM	1??"	1.06
FMA6506ST	50SCCM	1??"	1.06
FMA6508ST	100SCCM	1??"	1.06
FMA6510ST	200SCCM	1??"	1.06
FMA6512ST	500SCCM	1??"	1.06
FMA6514ST	1SLM	1??"	1.06
FMA6516ST	2SLM	1??"	1.06
FMA6518ST	5SLM	1??"	1.06
FMA6520ST	10SLM	1??"	3.87
FMA6523ST	15SLM	1??"	2
FMA6524ST	20SLM	1??"	3.5
FMA6526ST	30SLM	1??"	8
FMA6528ST	50SLM	1??"	8
FMA6540ST	60SLM	3??"	18.9
FMA6541ST	80SLM	3??"	18.9
FMA6542ST	100SLM	3??"	18.9

配件：

型號	說明
FMA65-C	替換電纜25針D-conn，帶1.8m（6'）電線，分支到電源
FMA65PWC	電源，25針母頭D-conn 110 Vac（±15 Vdc）分支1.8 m（6'）電線到計算機端口剝線
FMA65PWA	帶25針母頭D-conn 110V 交流（±15 Vdc）分支1.8 m（6'）線轉(zhuǎn)模擬接口的電源
FMA65EPWC	歐洲電源，帶25 針母頭D-conn 230 Vac（±15 Vdc）分支1.8 m（6'）電線到計算機端口剝線
FMA65UKPWC	英國電源，帶25 針母頭D-conn 230 Vac（±15 Vdc）分支1.8 m（6'）電線到計算機端口剝線
FMA65-C15	25針D-conn，帶1.8 m（6'）電線到 15 針 DM，分支1.8 m（6'），線到計算機端口剝線

注：隨附操作手冊、軟件、電纜 （FMA65-C） 和 NIST 證書。電源單獨出售。

** 指定的流量范圍適用于 20 psig 入口（高達 50 SLM）或 25 psig 入口（60至100 SLM 單位）和 0 psig 出口處的氮氣或空氣。

對于自定義校準，請在型號中添加后綴“-（*），無需額外費用。將型號中的 * 替換為一個或多個氣體和入口/出口壓力。

僅在環(huán)境溫度（20C/70F）下進行校準。

要替換標準RS485通信，請在型號中添加后綴“-RS232”，無需額外費用。

對于 4至20 mA 輸出，請在型號中添加后綴“-I”，無需額外費用。

要用Perflouoroelastomer O形圈代替標準FKM，請在型號中添加后綴“-K”，需額外費用。

對于氧氣清潔裝置，在型號中添加后綴“-C”;需額外費用。